시노펙스가 15나노 AF필터 (All Fluoropolymer, 불소수지소재) 를 공개했다. AF필터는 필터 케이스 및 내부 필터 전체를 PTFE 소재를 사용하며 반도체 생산공정에서 사용되는 불산, 황산, 질산 같은 강산과 200도 이상의 고온에서 견디면서 불순물을 제거한다. AF필터에 사용되는 PTFE 소재는 미국 고어사에서 전 세계 시장을 과점 하고 있으며, 20나노 이하급 필터는 전량 수입에 의존하고 있다.
시노펙스가 개발한 AF필터는 성인 머리카락 굵기의 약 6600분의 1인 15나노 기공 사이즈로 필터 소재부터 외부 케이스까지 전체가 불소수지(Fluoropolymer) 로 제작됐다.
석유민 박사는 “반도체 핵심 공정에 사용되는 필터의 공급망 안정을 위해 AF필터를 개발하게 됐으며, 현재 동탄사업장에 반도체용 나노급 제품 전용 생산라인을 자체 개발한 설비로 세팅하고 있다”고 밝혔다.
또한 “향후 2025년 이후로는 싱글 나노급 (10나노 이하급) 필터 기술 개발과 양산 적용을 동시에 진행해 현재 글로벌 필터 회사가 독점하고 있는 반도체용 케미컬 필터 시장을 대체해 나갈 계획”이라고 밝혔다.
By 안병도 에디터 PRESS@weeklypost.kr
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